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石英管玻璃的清潔方法和特點(diǎn) | 新聞來源: 點(diǎn)擊數(shù):2618 更新時(shí)間:2017/2/16 14:03:46 收藏此頁 |
| 石英管玻璃在半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備上,運(yùn)用溫度經(jīng)常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態(tài), 在此種狀態(tài)下由于附著不純物招致失透現(xiàn)象發(fā)作,失透之部分為石英之晶質(zhì)化, 晶質(zhì)化之變態(tài)點(diǎn)為 275 ℃,當(dāng)石英玻璃自高溫降至此變態(tài)溫度時(shí),表面失透之晶 質(zhì)化部分與石英玻璃本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間收縮系數(shù)不同在急速冷卻下 產(chǎn)生不透明之剝離狀更嚴(yán)重時(shí)會(huì)構(gòu)成分裂現(xiàn)象產(chǎn)生。 石英管因此,防止這些污染源附著在石英表面上 除了不直接用空手去拿石英外, 運(yùn)用在高溫作業(yè)之前必先做清洗之工作以確保石 英表面之潔凈度。 石英管首先用純水先沖洗表面, 再置入酸洗槽內(nèi)浸泡一 些時(shí)間,取出后再用純水沖洗后晾干。
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