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| 石英深加工：石英坩堝外形尺寸的確立 | | 新聞來源： 點擊數(shù)：2466 更新時間：2015/2/5 11:08:43 收藏此頁 |
| 石英坩堝尺寸大小（或容積大?。┑拇_定取決于晶體生長的直徑和長度，同時還要考慮拉晶工藝中對堝、晶直徑比的要求。一般竭、晶直徑比以3:1為佳。石英深加工
1.其理由是它與熔液直接接觸，熔硅與石英坩堝的sio:反應(yīng)生成sio后，它同時向熔體內(nèi)部擴散和向熔體表面揮發(fā)。
******有一部分到達固一液界面附近，混入到正在生長的晶體中去，從而使單晶體中的氧含量增高。低溫水槽采取較大的渦、晶直徑比，將有利于氧的大量揮發(fā)。
2.因此當(dāng)拉制直徑為8 0mrn、長度為7. 000mm硅單晶時，我們確定增渦的直徑為中224mm,高度為190mm.根據(jù)石英的機械性質(zhì)川：抗壓強度為8004一8500 （WC kg/cm2），抗拆強度為710一1040（200C kg/cm‘），石英坩堝抗彎強度為700一1100 （200C kg/cml），抗扭強度為304一600 （20cc kg/cml），為此，我們選擇柑im的厚度為4mm,這樣就能承受住12Kg以上的Si料。
3.同時為了使單晶生長到達底部時，仍能保持其原有的竭、晶直徑比（3:I）和盡量減少坩堝中剩料，以提高單晶的成品率和回收率，為此確定使用平底柑塌。
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