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| 石英深加工：石英坩堝的主要用途和特性 | | 新聞來源： 點(diǎn)擊數(shù)：2487 更新時(shí)間：2014/12/17 17:18:32 收藏此頁(yè) |
| 石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。不能和HF接觸，高溫時(shí)，極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。石英深加工
除HF外，普通稀無機(jī)酸可用作清洗液。國(guó)內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國(guó)內(nèi)坩堝生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的18和20英寸坩堝技術(shù)都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂主要由美國(guó)進(jìn)口。國(guó)內(nèi)產(chǎn)的石英砂純度都達(dá)不到其要求。其原料里雜質(zhì)在生產(chǎn)時(shí)高溫熔制過程中產(chǎn)生黑點(diǎn)氣泡等對(duì)拉制單晶硅時(shí)其穩(wěn)定性都有一定影響。
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