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| 石英深加工：石英坩堝的主要用途和特性 | | 新聞來源： 點擊數(shù)：2486 更新時間：2014/12/17 17:18:32 收藏此頁 |
| 石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎材料。當今，世界半導體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質量穩(wěn)定等優(yōu)點。不能和HF接觸，高溫時，極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。石英深加工
除HF外，普通稀無機酸可用作清洗液。國內常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內坩堝生產廠家生產的18和20英寸坩堝技術都比較成熟。其生產使用原料石英砂主要由美國進口。國內產的石英砂純度都達不到其要求。其原料里雜質在生產時高溫熔制過程中產生黑點氣泡等對拉制單晶硅時其穩(wěn)定性都有一定影響。
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